终于,机遇来了,这次机会就是:铜制程逆袭。 铜制程逆袭终结了IBM的技术霸权:2003年,IBM希望把新开发的铜制程工艺卖给积电,但张中谋认为IBM技术不成熟,不如自己干。率队研发的是蒋上义,充分发挥在德州仪器学到的工艺管理经验:为防止材料污染,研发人员连行走都要求严格按照地板上画好的路线。 就在数月前,积电铜制程率先突破,发挥核心作用的是6个人:余震华、梁梦松、孙圆成、蒋上义、杨广磊、林苯坚。而IBM的技术却仍未走出实验室。IBM的代工技术霸权被终结了。 学习美国再超越,这次弯道超车令积电的代工工艺一骑绝尘。 今年,积电拿下了全球一半的芯片代工订单,位列半导体行业规模前十。排名第二的则是韩国三星,它在存储芯片领域和东洋死磕获胜,拿下全球30%份额,而曾经辉煌的东洋半导体,仅剩三家企业位列全球前十。 取得如此辉煌的成就。 积电在海岛的地位,不亚于韩国三星。 张中谋一句话,自然有无数人为之奔走。 很快,叶风的底细就摆到了张中谋的案头。
第657章 时间才是最大的敌人 “大陆晴风集团创始人?” “旗下已有三家上市公司,资产数百亿?内地隐形富豪?” “白手起家,竟然才26岁?” 看到叶风的资料,张中谋怀疑是不是底下的搞错了? 很快,他就打消了这个念头。 能摆上他案头的,自然是确定无数次的材料。 和叶风的资料一起摆上案头的,还有近期中芯的变化。 “刚刚经历了非典的冲击,中芯就开始量产90nm的工艺的芯片了吗?” “中芯竟然从荷兰阿斯麦公司进口了一台最先进的光刻机。还是今年才从香江维多利亚港装船的。” “中芯那边有高人啊,居然没有找“光刻机霸主”——东洋的尼康和佳能购买设备,反而找到这家小厂?” 张中谋不得不佩服中芯高人的眼光独到之处。 荷兰的光刻机技术不比东洋差,但是名气要小得多。他们正好需要打破东洋的垄断,只要中芯许之与厚利就能突破《瓦森纳协定》的封锁,从而买到最先进的光刻机。 去年积电代工英特尔最成熟的芯片工艺,就是90nm的。 中芯这是追到积电的屁股后面了。 双方的技术代差,只有半代了。 想到这里。 张中谋不慌不忙,吩咐助理:“把林苯坚叫来。” …… 不一会,一名50来岁的清瘦男子奉命前来。 此人正是积电技术副总监林苯坚,1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程博士,在IBM一干就是22年,专攻高成像技术。 2000年,林苯坚加入了积电,提出一系列突破性的创新,研发湿法光刻技术。 这项技术和如今的干法光刻技术方案背道而驰,林苯坚还被圈内人吐槽是“挡在航空母舰面前不自量力的飞鸟”。 此方案也遭到了如今“光刻机霸主”东洋佳能和尼康的抵制。林苯坚刚刚提出即遭反对,心情自然是郁闷无比,只得暗自研究相关工艺。 “张总,您找我?”林苯坚进门,就看到张中谋在看资料沉思。 “苯坚呐,你来了。”张中谋闻言抬头,喜道:“快请坐。” 待到林苯坚小心地坐下后,张中谋笑道:“苯坚啊,你上次申请的湿法光刻技术项目,我研究后很有兴趣,你能对我再讲讲你的看法吗?” “啊……” 林苯坚闻言又惊又喜,惊的是德高望重的张中谋亲自研究了他的项目方案,喜的是自己终于得到了发挥的机会。 他整理了一下思路,缓缓道:“传统的干式光刻法,自1959年发明‘平面积成电路’以来,被持续使用了四十年,然而受限于基本光学衍射,在90年代后期,用该方法制造特征尺寸小于65纳米的芯片面临无法逾越的瓶颈。” 林苯坚坚定地道:“我预见昂贵的干式光刻技术将进入死角,所以建议使用湿式光刻,该方法是一种新的光刻工序,透过液体介质置换透镜和晶圆表面之间的气隙以提高光学解析精度。” “这个我知道,你说的湿式光刻,是浸润式光刻,这个概念在80年代曾有人提出过。但这个概念很原始,距离可实现的方法还很远。”张中谋点头道。 “对,为了优化浸润式光刻系统,我在理论上重新定义并导出了关键性能指标和缩放公式,为极高解析度的三维浸润式光刻光学系统,规范了必须遵行的缩放定律。” 林苯坚道:“我还在实验室的研究发现,想要完善浸润式光刻,就是要克服液体中微气泡的形成。还必须要开拓在热力学极限下,经由水而衍射的光刻工序。” 张中谋赫然动容道:“如果你的这个设想全部解决,那么在科学和工程上,就证实了湿式光刻方法可用于最先进的IC制程,可以将IC技术节点从65nm持续降低,打破65nm的技术壁障。” “对,这样摩尔定律又可以生效了。至少可以再持续延伸了五代以上。”林苯坚信心满满地道。 “哈哈,好哇!” 张中谋大笑,“就是要你的这种底气,你来看看这份资料。” 他指着中芯突破90nm技术的资料给林苯坚看,“如果技术停滞,后来者就很容易追上来。为了保持我们的技术领先,我决定马上研发湿法光刻技术。由你牵头负责成立技术团队,争取一年内出成果。咱们积电不发威,什么内地小公司都敢追上来了。” 林苯坚临危受命却大喜,他立正道:“保证完成任务。” “不过……”林苯坚又道:“光刻机霸主——东洋佳能和尼康十分抵制我的这个方案,我们找哪家公司一起研发湿法光刻机呢?” “那里……” 张中谋又指了指手中的资料,林苯坚低头看去,“荷兰小厂阿斯麦?” “对,相信他们愿意尝试。这是他们打败东洋霸主的机会。” 张中谋虽然不熟悉这家小厂,但他懂人心。 他拍拍林苯坚的肩膀,“尽快出发,和这家公司交好,必要的时候可以提供技术支持或资金入股,争取这家公司更多的话语权。” 张中谋安排好了林苯坚,目光又落到了案头的资料上面。只见资料最上方,叶风的清秀帅气的照片,带着淡淡的笑容。那面容年轻得过份。 叹了一口气道:“唉,我和张如京都老了,就算我现在能带领积电领先一步,十年二十年后,我还能带得动积电这艘大船吗?时间,才是我最大的敌人啊。” 他此时还不知道,林苯坚的湿法光刻技术大获成功,不仅革新了集成电路的制程,还使先进半导体芯片的特征尺寸,能持续缩减为5-7纳米量级,为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献,让积电的制程技术一直领先了15年。 而且,不但积电完成了技术突破,荷兰阿斯麦也迅速崛起,击垮东洋霸主成为行业巨头,和积电结下了深厚的战友情。 如果不是叶风的出现,15年后的阿斯麦将在美国的重压下,卡着中芯的脖子,不再给中芯提供7纳米级的先进光刻机,差点将中芯逼入绝境。
第658章 给你们全套图纸也做不出来 就是积电奋力向前的时候。 中海。 张江高科技园区。 一所不为人知的小白楼里面。 悄悄成立的中海微电子迎来了最关键的时刻。 2002年,光刻机被列入国家863重大科技攻关计划,由国家科技-部和中海-市共同推动成立“中海微电子-公司”来承担。 制造光刻机就是在微观世界里“造房子”——光刻机是一个由几万个精密零件、几百个执行器传感器、千万行代码组成的超复杂思维系统,它的内部运动精度误差不超过一根头发丝的千分之一。 打个比喻,就像坐在一架超音速飞行的飞机上,拿着线头穿进另一架飞机上的针孔。由于它技术的超高难度以及系统的复杂性,导致光刻机在全世界形成了超高的技术门槛。 为实现“用华国人的光刻机造华国芯”的梦想,来自中海电气副总工明荣老师,奉上级指示,带着10位满怀梦想的“战友”来到张江,承担起制造振兴国家民族的微电子装备产业,开始了艰难的光刻机研发之路。 梦想是丰满的,现实是骨感的。 国内的光刻机相关行业处于一片空白,无论是专业人员还是配套的零件供应链,都让明荣无从下手。 在这样的情况下,中海微电子总经理明荣深知,“唯一的出路就是走自主创新之路。” 这是一条艰苦卓绝之路。 中海微电子却义无反顾。 小白楼顶层,总经理办公室大门紧闭。 两名中年人隔着一张办公桌,面对而坐。 “两年了,公司成立两年了。明总,请你告诉我,你们出了什么成果?” 对面。 温文尔雅的科技局局长吴勒恩,罕见地露出痛心疾首的表情低吼道。 吴勒恩的年纪刚刚四十岁,就坐到中海这坐大城市科技局一把手的位子。 其背景深不可测。 传说他和部里大佬的关系非常好。 这次,到中海微电子考察。 就是背后大佬的示意。 毕竟,中海微电子是背负着使命成立的,然而两年过去了,却没有丝毫消息。 这让大佬们都感到着急了。 再不出成果,上面就质疑他们的能力了。 “我……我太难了!!” 一张国字脸,消瘦得露出颧骨。 明荣的脸上写满了憔悴。 他苦笑道:“指甲盖大小的芯片,密布千万电线、纹丝不乱,就需要极端精准的光刻机。可以说光刻机精度决定了芯片的上限。而高精度光刻机产自东洋的尼康和佳能两家。这两家都有几十年的历史和技术沉甸,我们的技术却是一穷二白啊。” “一穷二白?” “对,我们如今还在摸索技术,至少还需要数百种技术专利的成功才能有第一阶段成果。” “还要摸索数百种技术专利?” 吴勒恩气极,“明总,说话要负责任的哦,照你这么说,是不是我去见马克思了,你们可能还没有成果?” “恩!不排除这种可能。”明荣老老实实地回答道。 “我X~~”吴勒恩用低不可闻的声音暗骂了一声,半天才道:“是不是没有图纸的原因?要不要让上面想办法搞到一套光刻机的图纸?” “图纸不是关键!” 明荣摇摇头道,“前年我去德国考察时,有工程师告诉我,‘给你们全套图纸,也做不出来。’当时我是不信的,现在,我理解了这句话。” “什么意思?”吴勒恩有些不解地望着他。 “我并不是说图纸不重要。”明荣说,“如何将系统的误差分配到子系统,设计是有高下之分。但顶级光刻机也需要细节上的技术洁癖。一根光纤,一行软件编码,一个小动作,如果不兢兢业业做好,整个系统就不优秀。”
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